催化燃燒廢氣處理設(shè)備電子半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例
2023-04-24 15:21
催化燃燒廢氣處理設(shè)備在電子半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，這主要是由于電子半導(dǎo)體行業(yè)在制造過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量有機(jī)氣體和有毒氣體，對(duì)環(huán)境和人體健康造成嚴(yán)重的危害。因此，催化燃燒廢氣處理設(shè)備在電子半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用是非常必要的。本文將介紹一個(gè)針對(duì)某電子半導(dǎo)體廠的催化燃燒廢氣處理設(shè)備應(yīng)用案例。
一、電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣情況及催化燃燒廢氣處理的必要性
電子半導(dǎo)體行業(yè)是一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，它包括了集成電路(IC)、半導(dǎo)體材料、電子元器件、電子專(zhuān)用材料、電子信息系統(tǒng)和應(yīng)用等多個(gè)方面。在這些領(lǐng)域中，制造過(guò)程中往往會(huì)產(chǎn)生大量的有機(jī)氣體和有毒氣體，如揮發(fā)性有機(jī)物(VOC)、氟化氫(HF)、氯化氫(HCl)、氮氧化物(NOx)、苯、甲醛等。這些廢氣中有一些是對(duì)人體有毒的，其揮發(fā)性、氧化性和易燃性也很強(qiáng)。如果這些廢氣不做適當(dāng)?shù)奶幚恚瑢?huì)對(duì)人體健康及周?chē)h(huán)境造成很大的危害。在電子半導(dǎo)體行業(yè)中，制造過(guò)程中排放廢氣量很大，因此，催化燃燒廢氣處理設(shè)備就具有了很大的應(yīng)用場(chǎng)景。
二、電子半導(dǎo)體行業(yè)催化燃燒廢氣處理設(shè)備的應(yīng)用案例
某電子半導(dǎo)體廠由于生產(chǎn)設(shè)備的老化以及工藝、工藝氣體的變更，導(dǎo)致廢氣的排放質(zhì)量指標(biāo)嚴(yán)重超標(biāo)。為將污染物達(dá)標(biāo)排放，客戶(hù)選擇了催化燃燒廢氣處理設(shè)備，對(duì)有機(jī)廢氣進(jìn)行治理。此次項(xiàng)目排放處理場(chǎng)所面積達(dá)25平方米，廢氣抽取口位于生產(chǎn)設(shè)備上方?，F(xiàn)將該項(xiàng)目的設(shè)計(jì)、施工及調(diào)試情況進(jìn)行介紹。
1. 設(shè)計(jì)方案
針對(duì)該電子半導(dǎo)體廠的實(shí)際情況，處理方案采用VOCs的催化燃燒技術(shù)，采用微正壓原理，根據(jù)排放物的種類(lèi)、濃度、運(yùn)行溫度、流量等參數(shù)，選用了燃?xì)?空氣混合比為1.2/1的亞甲基藍(lán)催化劑催化燃燒技術(shù)。催化燃燒廢氣處理設(shè)備采用的是進(jìn)口催化器和燃燒器，主體設(shè)備包涵進(jìn)風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥、催化燃燒器、藍(lán)牙小型遠(yuǎn)程控制器、排煙風(fēng)機(jī)、風(fēng)機(jī)變頻控制柜等，主要技術(shù)指標(biāo)為：
(1) 處理清潔率：≥99%；
(2) 廢氣進(jìn)口濃度：1000毫克/立方米；
(3) 處理空氣量：750立方米/小時(shí)；
(4) 煙氣溫度：150~300℃；
(5) 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：《國(guó)家廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)》GB 16297-1996。
2. 施工過(guò)程
催化燃燒廢氣處理設(shè)備的安裝、接線、調(diào)試都需要按照專(zhuān)業(yè)的要求進(jìn)行，并在專(zhuān)業(yè)人員的指導(dǎo)下操作。施工時(shí)需要特別注意如下細(xì)節(jié)：
(1) 安裝催化燃燒器時(shí)需要按照設(shè)備的設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行正確的定位。
(2) 安裝催化器時(shí)需要嚴(yán)格遵守催化器廠家的操作要求，以避免對(duì)催化器造成損害。
(3) 安裝焚燒器時(shí)需要對(duì)其進(jìn)風(fēng)管進(jìn)行密封，以保證在工作時(shí)的始終有足量的氧氣供應(yīng)。
(4) 排氣管道的平直輸送，保證管段不彎曲、不堵塞，以免影響運(yùn)行效果。
3. 調(diào)試工作
安裝完成后，需要對(duì)催化燃燒廢氣處理設(shè)備進(jìn)行調(diào)試和運(yùn)行試驗(yàn)，以實(shí)現(xiàn)正常的運(yùn)行。具體步驟如下：
(1) 在達(dá)到規(guī)定的進(jìn)風(fēng)量下，調(diào)整控制器的氣和氧氣混合比。
(2) 檢查排氣管路、排氣風(fēng)機(jī)是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)、催化器是否有渣滓積聚、檢測(cè)設(shè)備是否有漏氣回流現(xiàn)象。
(3) 小范圍加熱催化燃燒廢氣處理設(shè)備，記錄溫度變化，并觀察是否有漏氣現(xiàn)象。
(4) 壓縮空氣+空氣/空氣魔板進(jìn)行穩(wěn)壓穩(wěn)流校準(zhǔn)，檢查VOCs濃度分析后的準(zhǔn)確性、響應(yīng)時(shí)間和分析設(shè)備的性能等。
(5) 根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或客戶(hù)要求進(jìn)行檢驗(yàn)測(cè)試，檢查處理后的廢氣濃度是否達(dá)到國(guó)家要求。
以上調(diào)試工作一般由專(zhuān)業(yè)的調(diào)試工程師和生產(chǎn)工程師完成。
三、結(jié)語(yǔ)
本文主要介紹了催化燃燒廢氣處理設(shè)備在電子半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用案例，針對(duì)該電子半導(dǎo)體廠的廢氣情況，采取了VOCs的催化燃燒技術(shù)，達(dá)到了很好的處理效果。在電子半導(dǎo)體制造過(guò)程中，催化燃燒廢氣處理設(shè)備的應(yīng)用是非常必要的，可有效減少?gòu)U氣排放對(duì)人類(lèi)健康及周?chē)h(huán)境造成危害。