電子半導體蓄熱式熱氧化廢氣處理方案
2023-05-05 17:44
隨著我國工業(yè)技術的高速發(fā)展，其中半導體行業(yè)需求也迅速加大，但隨之而來也帶有VOC廢氣對大氣污染。因為國家近年來對環(huán)境治理加大力度，半導體也成分重點治理對象之一。半導體行業(yè)對生產(chǎn)車間清潔度要求極高，因此廢氣排放風量較大、排放濃度小的。今天天清佳遠小編簡單介紹半導體行業(yè)廢氣處理解決方案。 ?
廢氣主要來源于芯片或者是線路板出產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中以及對電路板進行清洗。主要成分有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
半導體行業(yè)廢氣處理解決方案：
(1)預處理階段:一般采用沸石分子篩先對廢氣進行預處理，去除粉塵以及有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段，比較常見而有效方法有: UV光解，生物過濾分解，蓄熱式熱氧化和催化燃燒等。這幾種方式各有優(yōu)劣，根據(jù)大多數(shù)電子廠廢氣的情況，在這里我們主要推薦和介紹蓄熱式熱氧化（RTO）三塔式廢氣處理(治理)裝置。
蓄熱式熱氧化（RTO）三塔式廢氣處理(治理)裝置
產(chǎn)品概述
蓄熱式熱力焚燒爐（RTO），是一種高效有機廢氣治理設備。與傳統(tǒng)的催化燃燒、直燃式熱氧化爐（TO）相比，具有熱效率高（≥95%）、運行成本低、能處理大風量中低濃度廢氣等特點，濃度稍高時，還可進行二次余熱回收，大大降低生產(chǎn)運營成本。
運作原理
RTO (Regenerative Thermal Oxidizer,簡稱RTO),蓄熱式氧化爐。其原理是在高溫下將廢氣中的有機物（VOCs)氧化成對應的二氧化碳和水，從而凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，三室RTO廢氣分解效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以上。根據(jù)客戶實際需求，選擇不同的熱能回收方式和切換閥方式。
其原理是可燃有機廢氣在攝氏760～1000度發(fā)生熱氧化反應，生成二氧化碳和水等。廢氣首先通過蓄熱體加熱到接近熱氧化溫度，而后進入燃燒室進行熱氧化，氧化后的氣體溫度升高，有機物基本轉(zhuǎn)化成二氧化碳和水。凈化后的氣體，經(jīng)過另一蓄熱體，溫度下降，達到排放標準后進行排放。
RTO裝置中的蓄熱式陶瓷填充床換熱器可最大限度回收熱能，熱回收率大于95%，處理VOCs時不用或使用很少的燃料。若處理低濃度廢氣，可選裝濃縮裝置，以降低燃料消耗。
根據(jù)客戶需求，可設計兩室、三室、多室或單室旋轉(zhuǎn)式RTO裝置。
工藝特點
1. 對工況要求低，廢氣中可以含有多種有機成分，處理風量范圍大： 1,000～300,000Nm3/h；
2. 凈化率高，兩床式RTO凈化率在95%以上，三床式RTO凈化率在 99%以上；
3. 全自動控制，操作簡單；操作費用低；
4. 運行費用低，當VOC濃度達到400ppm時，不需要額外的燃料消耗。 ?
應用行業(yè)
1.汽車、造船、摩托車、自行車、家用電器、汽修、輪胎等行業(yè)噴漆涂裝車間產(chǎn)生的有機廢氣；
2.化工、制藥、半導體制造、LCD制造、制鞋粘膠、印鐵制罐、塑料注塑、油墨廢氣、印刷廠、電纜及漆包線等制造過程排放的有機廢氣。
3. 使用有機廢氣種類：烷烴、烯烴、醇類、酮類、醚類、酯類、芳烴、苯類等碳氫化合物有機廢氣。
4. 有機物低濃度(同時滿足低于25%LFL)、大風量
5. 廢氣中含有多種有機成分、或有機成分經(jīng)常發(fā)生變化
6.? 含有容易使催化劑中毒或活性衰退成分的廢氣
產(chǎn)品的優(yōu)勢
●幾乎可以處理所有含有機化合物的廢氣
●可以處理風量大、濃度低的有機廢氣
●處理有機廢氣流量的彈性很大（名義流量20%~120%）
●可以適應有機廢氣中VOC的組成和濃度的變化、波動
●對廢氣中夾帶少量灰塵、固體顆粒不敏感
●在所有熱力燃燒凈化法中熱效率最高（>95%）
●在合適的廢氣濃度條件下無需添加輔助燃料而實現(xiàn)自供熱操作
●凈化效率高（三室>99%）
●維護工作量少、操作安全可靠